1 简介

真空泵(beng)是(shi)一种(zhong)旋转式变容真空泵(beng)须有(you)前级泵(beng)配合方可使用在较(jiao)宽的(de)压力范围(wei)内有(you)较(jiao)大的(de)抽(chou)速对被抽(chou)除(chu)气体中含有(you)灰尘和(he)水蒸(zheng)汽不敏(min)感广(guang)泛用于冶金(jin)、化工、食品、电子镀膜(mo)等行业。[1]

2 特点

(1)在(zai)较宽的压力范围(wei)内有(you)较大的抽速；

(2)转(zhuan)(zhuan)子具(ju)有良好的几(ji)何对称(cheng)性，故振动小(xiao)，运转(zhuan)(zhuan)平(ping)稳。转(zhuan)(zhuan)子间(jian)及转(zhuan)(zhuan)子和壳体间(jian)均(jun)有间(jian)隙，不用润滑，摩擦损失小(xiao)，可大大降低驱动功率，从而可实现较高(gao)转(zhuan)(zhuan)速；

(3)泵(beng)腔(qiang)内无需用油密(mi)封和润滑，可减少油蒸气对真(zhen)空系统的污染；

(4)泵腔内(nei)无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑(cou)，对(dui)被抽(chou)气体中的灰尘和(he)水蒸汽不敏(min)感；

(5)压(ya)缩(suo)比较(jiao)低(di)，对氢气(qi)抽(chou)气(qi)效果(guo)差；

(6)转子表面(mian)为形状较为复杂的曲线柱面(mian)，加工和检查比较困难。

3 结构

（1） 泵(beng)总体结(jie)构型式(shi)

真空泵(beng)的(de)泵(beng)体(ti)的(de)布置结(jie)(jie)构决定了泵(beng)的(de)总体(ti)结(jie)(jie)构。

立式结构(gou)的进、排气(qi)口水平设(she)置(zhi)，装配(pei)和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转(zhuan)时稳(wen)定性差，故这种型(xing)式多用于小泵。

卧式泵(beng)(beng)的(de)进气(qi)口(kou)在上，排(pai)(pai)气(qi)口(kou)在下。有时(shi)为了真空系统管(guan)(guan)道(dao)安(an)装(zhuang)连接(jie)(jie)方(fang)(fang)便，可将排(pai)(pai)气(qi)口(kou)从水平方(fang)(fang)向接(jie)(jie)出，即进、排(pai)(pai)气(qi)方(fang)(fang)向是相互垂直的(de)。此时(shi)，排(pai)(pai)气(qi)口(kou)可以(yi)从左或右两个方(fang)(fang)向开(kai)口(kou)，除接(jie)(jie)排(pai)(pai)气(qi)管(guan)(guan)道(dao)一端外，另一端堵死或接(jie)(jie)旁(pang)通阀(fa)。这(zhei)种泵(beng)(beng)结(jie)构重(zhong)心(xin)低(di)，高(gao)速运(yun)转时(shi)稳定性(xing)好。一般大、中型泵(beng)(beng)多采用此种结(jie)构。

泵(beng)的两(liang)个转(zhuan)子(zi)轴与水(shui)平(ping)面(mian)垂直安装。这种(zhong)结(jie)构(gou)装配间隙(xi)容易控制，转(zhuan)子(zi)装配方便(bian)，泵(beng)占地面(mian)积小。但泵(beng)重心较高且齿(chi)轮(lun)拆(chai)装不(bu)便(bian)，润滑机(ji)构(gou)也相对复杂。

（2） 泵的传动方式

真空泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)两个转子是(shi)通过一对(dui)高(gao)精度齿(chi)轮(lun)来实现其相对(dui)同步运(yun)转的(de)(de)(de)(de)。主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)轴(zhou)通过联轴(zhou)器与电机(ji)联接。在传动(dong)(dong)结构布置(zhi)上主(zhu)(zhu)要有(you)以下两种：其一是(shi)电动(dong)(dong)机(ji)与齿(chi)轮(lun)放在转子的(de)(de)(de)(de)同一侧如(ru)图(tu)。从(cong)动(dong)(dong)转子由电动(dong)(dong)机(ji)端齿(chi)轮(lun)直接传过去带(dai)动(dong)(dong)，这样(yang)主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)转子轴(zhou)的(de)(de)(de)(de)扭转变形(xing)小，则两个转子之间(jian)的(de)(de)(de)(de)间(jian)隙(xi)不(bu)会因主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)轴(zhou)的(de)(de)(de)(de)扭转变形(xing)大而(er)改(gai)变，故使(shi)转子之间(jian)的(de)(de)(de)(de)间(jian)隙(xi)在运(yun)转过程中均匀。这种传动(dong)(dong)方式的(de)(de)(de)(de)最大缺点是(shi)：a.主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)轴(zhou)上有(you)三个轴(zhou)承，增加了泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)加工和(he)装配难度，齿(chi)轮(lun)的(de)(de)(de)(de)拆装及调整(zheng)也不(bu)便；b.整(zheng)体结构不(bu)匀称，泵(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)重心(xin)偏向电动(dong)(dong)机(ji)和(he)齿(chi)轮(lun)箱一侧。

    极(ji)限真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)”是真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵的(de)(de)(de)一(yi)个重要参数，是反应泵抽(chou)气能力(li)的(de)(de)(de)特性(xing)值(zhi)(zhi)，是与真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵相关的(de)(de)(de)一(yi)个数值(zhi)(zhi)，不(bu)同的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泵可以有不(bu)同的(de)(de)(de)“极(ji)限真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)”度。而“理论真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)”是理论研究(jiu)时(shi)的(de)(de)(de)一(yi)个概(gai)念(nian)，是排除各(ge)种实际因素的(de)(de)(de)影响而提炼(lian)出的(de)(de)(de)一(yi)种最(zui)理想的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)容器经充分抽(chou)气后，稳定在某一(yi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)度，此真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)度称为极(ji)限真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)。通常真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)容器须经12小时(shi)炼(lian)气，再经12小时(shi)抽(chou)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)，最(zui)后一(yi)个小时(shi)每隔10分钟测量一(yi)次，取其10次的(de)(de)(de)平均值(zhi)(zhi)为极(ji)限真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)值(zhi)(zhi)。